ECN part of TNO
: Home
EN
English
/
NL
Nederlands
Publicaties
Zoeken naar publicaties:
Beperk het zoeken tot de velden:
Titel/Samenvatting
Publicatienummer
Auteur
Publicaties van auteur Deligiannis, D.
Spinelli, P.; Danzl, F.J.K.; Deligiannis, D.; Guillevin, N.; Burgers, A.R.; Sawallich, S.; Nagel, M.; Cesar, I.;
High resolation THz scanning for optimization of dielectric layer opening process on doped Si surfaces
ECN-M--17-016
juni 2017;
5 pag.