|
Titel:
|
|
Effect of different firing profiles on layer characteristics and passivation of industrial ETP deposited silicon nitride films
|
|
|
|
Auteur(s):
|
Weeber, A.W.; Erven, A.J.M. van; Bosch, R.C.M.; Bijker, M.D.
|
|
|
|
Gepubliceerd door:
|
Publicatie datum:
|
|
ECN
Zonne-energie
|
1-6-2004
|
|
|
|
ECN publicatienummer:
|
Publicatie type:
|
|
ECN-RX--04-099
|
Conferentiebijdrage
|
|
|
|
Aantal pagina's:
|
Volledige tekst:
|
|
4
|
Niet beschikbaar.
|
Gepresenteerd op: 19th European Photovoltaic Solar Energy Conference and Exhibition, Paris, France, 7-11 juni 2004.
Samenvatting:
Geen samenvatting beschikbaar.
Terug naar overzicht.