Publicaties

Skip Navigation Links.

Zoeken naar publicaties:
Beperk het zoeken tot de velden:

ECN publicatie:
Titel:
Very low surface recombination velocities on 2.5 cm Si wafers, obtained with low-temperature PECVD of Si-oxide and Si-nitride
 
Auteur(s):
Leguijt, C.; Lölgen, P.; Eikelboom, J.A.; Amesz, P.H.; Steeman, R.A.; Sinke, W.C.; Sarro, P.M.; Verhoef, L.A.; Michiels, P.P.; Chen, Z.H.; Rohatgi, A.
 
Gepubliceerd door: Publicatie datum:
ECN ECN 1993
 
ECN publicatienummer: Publicatie type:
ECN-RX--93-098 Overig
 
Aantal pagina's: Volledige tekst:
3  Niet beschikbaar.

Samenvatting:
Geen samenvatting beschikbaar.


Terug naar overzicht.