Publicaties van auteur Duijvelaar, B.G.
Soppe, W.J.; Duijvelaar, B.G.; Schiermeier, S.E.A.; Weeber, A.W.; Steiner, A.; Schuurmans, F.M.;
A high throughput PECVD reactor for deposition of passivating SiN layers
ECN-RX--00-021
mei 2000;
4 pag.
Gepresenteerd op: 16th European Photovoltaic Solar Energy Conference and Exhibition, Glasgow, Scotland, 1-5 mei 2000.
|