|
Titel:
|
|
De Flexicoat-300: een roll-to-roll PECVD systeem voor fabricage van dunne film silicium zonnecellen op folie
|
|
|
|
Auteur(s):
|
|
|
|
|
|
Gepubliceerd door:
|
Publicatie datum:
|
|
ECN
Zonne-energie
|
15-3-2012
|
|
|
|
ECN publicatienummer:
|
Publicatie type:
|
|
ECN-V--12-007
|
Artikel vakblad
|
|
|
|
Aantal pagina's:
|
Volledige tekst:
|
|
7
|
Niet beschikbaar.
|
Gepubliceerd in: NEVAC blad (Nederlandse Vacuümvereniging), , 2012, Vol.1, p.30-39.
Samenvatting:
De Flexicoat300 is een experimentele roll-to-roll opstelling van ECN, waarmee een nieuw fabricageproces van dunne film silicium zonnecellen op folie wordt ontwikkeld. In het
systeem worden de actieve lagen van de zonnecellen geproduceerd door middel van een Plasma Enhanced Chemical Vapour Deposition proces. Het systeem heeft verschillende plasma depositiebronnen, elk met een specifieke taak in her fabricageproces. Voor de procesbewaking zijn verschillende middelen aanwezig zoals Optische Emissie Spectroscopie, Residual Gas Spectroscopie en Kelvin probe spectroscopie. In het systeem kunnen intrinsieke
en gedoteerde; amorfe en microkristallijne siliciumlagen geschikt voor zonnecellen worden gedeponeerd. De eerste cellen die in het systeem zijn gemaakt hebben een rendement
van ruim 8%.
Terug naar overzicht.